목차 01차시 : CMOS 소개와 Implant 용어 정리 02차시 : 이온 주입의 개요 03차시 : 이온 주입에 의한 농도분포 04차시 : Ion Implant Channeling 05차시 : 결함의 발생과 Annealing (1) 06차시 : 결함의 발생과 Annealing (2) 07차시 : 집적회로에의 응용 08차시 : Process Evaluation와 Technology Trend 09차시 : Diffusion의 개요 10차시 : 산화공정 개요 11차시 : Si/SiO₂ 계면과 산화막의 용도 12차시 : 산화 속도의 영향 요소와 SiO₂/Si 계면 전하 13차시 : 불순물의 재분포와 Oxide Quality 요구 조건 14차시 : 확산의 정의 15차시 : ANNEAL 16차시 : 확산 공정의 측정, 평가 및 불량 유형
수료기준 수료기준 표로, 항목, 반영비율, 과락기준으로 구성되어 있습니다. 항목 반영 비율 과락기준 진도 100.0% 80 중간평가 0.0% - 최종평가 0.0% - 과제 0.0% - 수료기준 진도 : 80% 달성 (필수) 총점 : 80 점이상 (필수)